Pregled proizvoda
Okrugle mete za raspršivanje titanijuma služe kao izvorni materijal katode visoke-čistoće za sisteme magnetronskog raspršivanja i fizičkog taloženja parom (PVD). Proizvedene od vakuum-otopljenih ingota titanijuma, ove kružne mete daju ujednačene mikrostrukture kako bi se osiguralo stabilno pražnjenje plazme, predvidljive brzine rasta tankog{3}}filma i konzistentna električna provodljivost kroz linije poluprovodnika, optičkih i dekorativnih premaza.
Tehničke specifikacije
|
Čistoća |
Ocjena 1 (99,5%), Ocjena 2 (99,7%), 99,9% (3N), 99,95% (3N5), 99,99% (4N), 99,995% (4N5) |
|
Standardni promjeri |
2 inča do 16 inča (prilagođene dimenzije dostupne na zahtjev) |
|
Opseg debljine |
3 mm do 20 mm |
|
Mikrostruktura |
Prosječna veličina zrna < 100 um sa jednakom distribucijom zrna |
|
Gustina |
> 4.51 g/cm3 (>99,5% teoretske gustine) |
|
Materijali za podlogu |
Bakar (OFHC), bakar-bez kiseonika ili aluminijum (dostupno povezivanje indija ili elastomera) |
|
Završna obrada površine |
Mašinski obrađeni, prelivani ili polirani (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Ključne karakteristike
Veličina finog i ujednačenog zrna:Kontrolisana termo{0}}mehanička obrada sprječava lokalizirano pregrijavanje, smanjujući stvaranje čestica i defekte rupica tokom -taloženja velike snage.
Niske nečistoće gasa:Kontrolisani intersticijski nivoi kiseonika, azota, ugljenika i vodonika minimiziraju mikro-lukove unutar vakuumske komore.
Visoka metalurška čvrstoća vezivanja:Ultrazvučno skeniranje potvrđuje > 95% pokrivanja vezivanja između titanijumske ciljne pločice i bakarne pozadinske ploče, osiguravajući optimalan termalni i električni prijenos.
Precizne dimenzionalne tolerancije:CNC obrada održava tolerancije vanjskog promjera i debljine unutar +/- 0.1 mm za precizno postavljanje sistema.
Prijave
Poluprovodnici i mikroelektronika:Taloženje gejt elektroda, difuzijske barijere i slojevi sjemena za integrirana kola.
Optički premazi:Anti-premazi protiv refleksije (AR), optički filteri i precizna poboljšanja sočiva.
Arhitektonsko i automobilsko staklo:Premazi niske-emisivnosti (Low-E) i folije za solarnu kontrolu za energetski{2}}efikasno zastakljivanje.
PVD{0}}otporni na ukrase i habanje:Funkcionalni slojevi titanijum nitrida (TiN) ili titanijum karbo-nitrida (TiCN) za hardver, ručne satove i alate za rezanje.
Prilagodba i proizvodnja
Proizvodnja koristi vakuumsko indukcijsko topljenje (VIM), vakuumsko lučno pretapanje (VAR), višesmjerno kovanje i precizno valjanje. Ovaj put obrade razbija livene strukture kako bi se eliminisale unutrašnje šupljine koje se skupljaju.
Prilagođene geometrije:Stepenaste ivice, kosine, rupe za hlađenje s navojem i nestandardni prečnici mapirani na specifične katodne topove (npr. Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Usluge lijepljenja:Vezivanje indija i elastomera izvedeno u kući-kako bi izdržalo velike gustine snage bez termičkog odvajanja.
Kontrola kvaliteta i sertifikati
Hemijska analiza:Masena spektrometrija induktivno spregnute plazme (ICP-MS) i masena spektrometrija užarenog pražnjenja (GDMS) verificiraju koncentracije metalnih i intersticijskih elemenata u tragovima. Svaka serija se isporučuje sa namenskim sertifikatom o analizi (CoA).
Ne-testiranje bez razaranja (NDT):Ultrazvučna C- inspekcija skeniranja procjenjuje integritet veze između mete i podložne ploče, skrining za unutrašnje šupljine ili delaminaciju.
Metalografski pregled:Optička mikroskopija potvrđuje distribuciju veličine zrna i homogenost faze.
Usklađenost sa standardima:Proizvedeno prema ISO 9001:2015 sistemima upravljanja kvalitetom.
Pakovanje i dostava
Primarno pakovanje:Vakuumski-zapečaćene duple polietilenske vrećice za čiste sobe punjene inertnim gasom argona.
Sekundarna ambalaža:Suspendirani kalupi od EPE pjene{0}}absorbirajuće udarce smješteni su u teškim-otpornim sanducima od šperploče kako bi se spriječilo lomljenje rubova ili grebanje površine tokom transporta.
Uključena dokumentacija:Potvrda o analizi, list o sigurnosti materijala (MSDS) i izvještaj o inspekciji dimenzija.
FAQ
P: Koji nivo čistoće treba da izaberem za optičke aplikacije u odnosu na dekorativni PVD?
O: Primjenama optičkih tankih{0}}filmova općenito je potrebna čistoća od 99,99% (4N) ili veća kako bi se eliminisali tragovi metalnih inkluzija koje uzrokuju apsorpciju ili raspršivanje svjetlosti. Linije za dekorativne premaze koje obrađuju funkcionalne slojeve kao što je TiN obično koriste 99,9% (3N) čistoće kako bi uravnotežile stabilnost taloženja sa ekonomičnošću materijala.
P: Kako spriječiti pucanje mete tokom-impulsnog magnetronskog raspršivanja velike snage (HiPIMS)?
O: Ciljno pucanje je ublaženo striktnim višesmjernim kovanjem i poprečnim-prolazima za valjanje koji osiguravaju potpuno prekristaliziranu, fino zrnastu strukturu ispod 100 um. Ova jednolična kristalna orijentacija ravnomjerno raspoređuje termički stres pod visokim gustoćama snage.
P: Koja je maksimalna gustina snage za povezane mete u odnosu na nevezane monolitne mete?
O: Nevezane monolitne mete su obično ograničene na niže gustine snage zbog toplotnog otpora kroz vazdušni jaz između mete i podloge katode. Vezane mete koje koriste interfejs od indija ili elastomera mogu podnijeti veća opterećenja snage (preko 15 W/cm2) pod uvjetom da se održava efikasan protok rashlađene vode.
P: Možete li uskladiti prilagođene crteže pozadinske ploče za stare ili vlasničke sisteme za raspršivanje?
O: Da. Proizvodnja uključuje prilagođene dizajne pozadinskih ploča. Inženjerski pregledava STEP, IGES ili 2D PDF crteže kako bi odgovarali specifičnim konfiguracijama vodenih-kanala, postavljanju žljebova za O-prstenove i zahtjevima{5}}uzorca vijaka.
P: Koje metode testiranja potvrđuju integritet spajanja zalemljenih meta?
O: Ultrazvučno C-skeniranje bez-nedestruktivnog ispitivanja provjerava cijeli interfejs za spajanje. Bilo koja lokalizirana nevezana površina ili šupljina koja prelazi 5% ukupne površine ili bilo koja pojedinačna šupljina veća od 5 mm rezultira odbacivanjem.
P: Koje je standardno vrijeme isporuke za prototip i proizvodne serije?
O: Standardne dimenzije zaliha se isporučuju u roku od 3 do 5 radnih dana. Prilagođeno-obrađene mete ili spojeni sklopovi zahtijevaju 2 do 3 sedmice, u zavisnosti od dostupnosti materijala i složenosti konfiguracije podloge.
Zatražite ponudu
Pošaljite ciljne specifikacije (čistoća, dimenzije, količina, zahtjevi za podložnu ploču i ciljni model katode) da biste dobili zvaničnu ponudu i list sa podacima o materijalu u roku od 24 radna sata.
Popularni tagovi: okrugle titanijumske mete za prskanje, Kina okrugle titanijumske mete za prskanje proizvođači, dobavljači, tvornica