Titanijumske mete za prskanje

Pregled proizvoda

 

Titanijumske mete za raspršivanje su potrošni materijali visoke -čistoće koji se koriste u sistemima fizičkog taloženja parom (PVD) za nanošenje tankih filmova od titanijuma ili titanijum{1}}složenih filmova na podloge. Konstruirani za ujednačene stope raspršivanja i minimalno stvaranje defekata, naši ciljevi podržavaju magnetronsko raspršivanje velike-impulse (HIPIMS) i DC/RF magnetronske postavke preko poluvodičkih, optičkih i dekorativnih linija za premazivanje.

 
 
Tehničke specifikacije

 

Parametar

Raspon specifikacija

Čistoća materijala

99,9% (3N) do 99,999% (5N)

Standardne ocjene

ASTM B348 Grade 1 / Grade 2 (CP Ti), legure titana (npr. TiAl, TiSi)

Gustina

>= 4.51 g/cm3 (>99,5% teorijske gustine, mereno Arhimedovim principom)

Prosječna veličina zrna

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Dimenzije (planarne)

Dužina do 3000 mm, širina do 800 mm, debljina 3-25 mm

Dimenzije (rotirajuće)

Vanjski prečnik do 400 mm, dužina do 4000 mm

Backing Plate

OFHC bakar (C10200 / C11000) ili aluminijum (6061)

Tehnologija lijepljenja

Vezivanje indija, vezivanje elastomera ili difuziono vezivanje (stopa praznine < 1%)

 

Ključne karakteristike

Fina mikrostruktura

Kontrolisana termo{0}}mehanička obrada daje prosječnu veličinu zrna ispod 100 um, osiguravajući ujednačene profile erozije i sprječavajući preferencijalno prskanje.

Kontrola čistoće gasa

Procesi vakuumskog indukcijskog topljenja (VIM) i topljenja elektronskim snopom (EBM) drže nečistoće međuprostora (O, N, H, C) striktno minimiziranim.

Vezivanje visoke toplotne provodljivosti

Difuzija ili vezivanje indija na OFHC bakrene pozadinske ploče sprečava savijanje cilja i prerano pucanje pod plazmnim pražnjenjem velike gustine.

Niska generacija čestica

Velika gustina i odsustvo unutrašnjih mikro-praznina potiskuju stvaranje luka i čvorova tokom dugih ciklusa premaza.

 

Prijave
 

Semiconductor & Microelectronics

 

Nanošenje slojeva barijere, kontaktnih slojeva i međusobno povezanih slojeva sjemena u proizvodnji IC.

Ravni displeji (OLED/LCD)

 

Formiranje slojeva provodljivih i piksel{0}}pogonskih tankih{1}}filmskih tranzistora (TFT).

Optical Coatings

 

Antireflektivni (AR) premazi, slojevi filtera i proizvodnja arhitektonskog Low-E stakla.

Premazi{0}}otporni na habanje i dekorativni tvrdi premazi

Taloženje TiN, TiCN i TiAlN na reznim alatima, automobilskim komponentama i sanitarnom hardveru.

 

 

Prilagodba i proizvodnja

Ruta proizvodnje:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Vezivanje.


Prilagođene mogućnosti:Prilagođene geometrije (pravougaone, kružne, segmentirane, rotirajuće), prilagođeni dizajn kanala za hlađenje zadnje ploče i specifični zahtjevi za orijentaciju zrna.


{0}}Kućna obrada:CNC glodanje i tokarenje postižu tolerancije dimenzija unutar +/- 0.1 mm i hrapavost površine do Ra 0,4 um.

Grade 2 Titanium Plate

 

Kontrola kvaliteta i sertifikati

Analitičko testiranje

Masena spektrometrija usijanog pražnjenja (GDMS) za analizu elemenata u tragovima; LECO gasni analizatori za kvantifikaciju kiseonika, azota i vodonika.

Strukturna inspekcija

Ultrazvučno testiranje (UT) obavljeno na 100% spojenih meta kako bi se potvrdio integritet spajanja i otkrile praznine u interfejsu.

Sljedivost

Svaki cilj se isporučuje sa Certifikatom o analizi (COA) sa detaljima o čistoći serije, razgradnji nečistoća u ppm i rezultatima testa gustine.

 

Pakovanje i dostava

 

 

Pakovanje

Vakum{0}}zapečaćene u anti-statičkim polietilenskim vrećicama, upakovane sa-pjenom koja apsorbuje udarce unutar ojačanih drvenih sanduka za izvoz{3}}kako bi se spriječila oksidacija u tranzitu i mehanička oštećenja.

 

Lead Time

2 do 3 sedmice za standardne planarne dimenzije; 4 do 6 sedmica za prilagođene rotirajuće ili difuzno{4}}vezane konfiguracije.

 

Uslovi isporuke

FOB, CIF ili DDP putem zračnog ili morskog tereta.

 

 

 

FAQ

 

 

P: Koji stepen čistoće je potreban za primjenu poluvodiča u odnosu na dekorativne premaze?

O: Poluprovodničke aplikacije općenito zahtijevaju čistoću od 99,995% (4N5) do 99,999% (5N) kako bi se spriječilo da metalna kontaminacija u tragovima promijeni električna svojstva. Dekorativne i-prilike otporne na habanje tvrde premaze obično koriste 99,9% (3N) do 99,95% čistoće, balansirajući troškove i funkcionalne performanse.

P: Kako spriječiti pucanje mete tokom prskanja velike{0}}e snage?

O: Ciljno pucanje se ublažava održavanjem fine, ujednačene veličine zrna (< 100 um), high theoretical density (>99,5%) i korištenjem robusnih difuziono-vezanih ili indijem{2}}bakarnih ploča od OFHC bakra koje efikasno raspršuju toplinska opterećenja.

P: Koja je maksimalna stopa praznine vezivanja koju garantujete?

O: Garantujemo stopu praznina međufaznog lijepljenja manju od 1% ukupne površine zalijepljene površine, što je potvrđeno ultrazvučnim C-snimkom prije isporuke, sprječavajući lokalizirano pregrijavanje i ciljano raslojavanje.

P: Možete li proizvesti segmentirane mete za velike komore za oblaganje?

O: Da. Proizvodimo velike-ravne i rotirajuće mete u modularnim, međusobno povezanim segmentima dizajniranim za bešavnu ugradnju u arhitektonsko staklo i linije za premazivanje ekrana.

P: Koje informacije su potrebne za traženje prilagođene ciljne ponude?

O: Molimo navedite model vašeg PVD sistema ako je poznat, ciljanu geometriju (planarnu ili rotirajuću), tačne dimenzije (dužina, širina, debljina ili vanjski prečnik), stepen čistoće materijala, zahtjeve za materijalom za podlogu i procijenjeni volumen godišnje potrošnje.

P: Kako se mete čiste i pakuju prije slanja?

O: Mete se podvrgavaju ultrazvučnom čišćenju u ultra-čistim rastvaračima kako bi se uklonili ostaci mašinske obrade, vakuum-zapečaćene su u čistim prostorima sa sredstvima za sušenje i pakuju se u azot-pročišćene ili teške-drvene kontejnere.

 

modular-1
Zatražite ponudu

Da biste dobili tehničku ponudu i ponudu za vaš specifični sistem taloženja, molimo navedite model vašeg PVD sistema, potrebnu čistoću, dimenzije i procijenjene količine. Naš inženjerski tim odgovara u roku od 24 radna sata sa dostupnošću materijala i rokovima isporuke.

Mi smo profesionalno prskanje titana ciljano na proizvođače i dobavljače u Kini, specijalizirane za pružanje visokokvalitetnih prilagođenih usluga. Slobodno ovdje kupite mete za raspršivanje titanijuma s popustom i uzmite besplatan uzorak iz naše tvornice. Za konsultacije o cijeni, kontaktirajte nas.