Pregled proizvoda
Titanijumske mete za raspršivanje su potrošni materijali visoke -čistoće koji se koriste u sistemima fizičkog taloženja parom (PVD) za nanošenje tankih filmova od titanijuma ili titanijum{1}}složenih filmova na podloge. Konstruirani za ujednačene stope raspršivanja i minimalno stvaranje defekata, naši ciljevi podržavaju magnetronsko raspršivanje velike-impulse (HIPIMS) i DC/RF magnetronske postavke preko poluvodičkih, optičkih i dekorativnih linija za premazivanje.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Raspon specifikacija |
|
Čistoća materijala |
99,9% (3N) do 99,999% (5N) |
|
Standardne ocjene |
ASTM B348 Grade 1 / Grade 2 (CP Ti), legure titana (npr. TiAl, TiSi) |
|
Gustina |
>= 4.51 g/cm3 (>99,5% teorijske gustine, mereno Arhimedovim principom) |
|
Prosječna veličina zrna |
< 100 um (fine, equiaxed microstructure) |
|
Dimenzije (planarne) |
Dužina do 3000 mm, širina do 800 mm, debljina 3-25 mm |
|
Dimenzije (rotirajuće) |
Vanjski prečnik do 400 mm, dužina do 4000 mm |
|
Backing Plate |
OFHC bakar (C10200 / C11000) ili aluminijum (6061) |
|
Tehnologija lijepljenja |
Vezivanje indija, vezivanje elastomera ili difuziono vezivanje (stopa praznine < 1%) |
Ključne karakteristike
Fina mikrostruktura
Kontrolisana termo{0}}mehanička obrada daje prosječnu veličinu zrna ispod 100 um, osiguravajući ujednačene profile erozije i sprječavajući preferencijalno prskanje.
Kontrola čistoće gasa
Procesi vakuumskog indukcijskog topljenja (VIM) i topljenja elektronskim snopom (EBM) drže nečistoće međuprostora (O, N, H, C) striktno minimiziranim.
Vezivanje visoke toplotne provodljivosti
Difuzija ili vezivanje indija na OFHC bakrene pozadinske ploče sprečava savijanje cilja i prerano pucanje pod plazmnim pražnjenjem velike gustine.
Niska generacija čestica
Velika gustina i odsustvo unutrašnjih mikro-praznina potiskuju stvaranje luka i čvorova tokom dugih ciklusa premaza.
Prijave
Semiconductor & Microelectronics
Nanošenje slojeva barijere, kontaktnih slojeva i međusobno povezanih slojeva sjemena u proizvodnji IC.
Ravni displeji (OLED/LCD)
Formiranje slojeva provodljivih i piksel{0}}pogonskih tankih{1}}filmskih tranzistora (TFT).
Optical Coatings
Antireflektivni (AR) premazi, slojevi filtera i proizvodnja arhitektonskog Low-E stakla.
Premazi{0}}otporni na habanje i dekorativni tvrdi premazi
Taloženje TiN, TiCN i TiAlN na reznim alatima, automobilskim komponentama i sanitarnom hardveru.
Ruta proizvodnje:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Vezivanje.
Prilagođene mogućnosti:Prilagođene geometrije (pravougaone, kružne, segmentirane, rotirajuće), prilagođeni dizajn kanala za hlađenje zadnje ploče i specifični zahtjevi za orijentaciju zrna.
{0}}Kućna obrada:CNC glodanje i tokarenje postižu tolerancije dimenzija unutar +/- 0.1 mm i hrapavost površine do Ra 0,4 um.

Kontrola kvaliteta i sertifikati
Analitičko testiranje
Masena spektrometrija usijanog pražnjenja (GDMS) za analizu elemenata u tragovima; LECO gasni analizatori za kvantifikaciju kiseonika, azota i vodonika.
Strukturna inspekcija
Ultrazvučno testiranje (UT) obavljeno na 100% spojenih meta kako bi se potvrdio integritet spajanja i otkrile praznine u interfejsu.
Sljedivost
Svaki cilj se isporučuje sa Certifikatom o analizi (COA) sa detaljima o čistoći serije, razgradnji nečistoća u ppm i rezultatima testa gustine.
Pakovanje i dostava
Pakovanje
Vakum{0}}zapečaćene u anti-statičkim polietilenskim vrećicama, upakovane sa-pjenom koja apsorbuje udarce unutar ojačanih drvenih sanduka za izvoz{3}}kako bi se spriječila oksidacija u tranzitu i mehanička oštećenja.
Lead Time
2 do 3 sedmice za standardne planarne dimenzije; 4 do 6 sedmica za prilagođene rotirajuće ili difuzno{4}}vezane konfiguracije.
Uslovi isporuke
FOB, CIF ili DDP putem zračnog ili morskog tereta.
FAQ

Zatražite ponudu
Da biste dobili tehničku ponudu i ponudu za vaš specifični sistem taloženja, molimo navedite model vašeg PVD sistema, potrebnu čistoću, dimenzije i procijenjene količine. Naš inženjerski tim odgovara u roku od 24 radna sata sa dostupnošću materijala i rokovima isporuke.
Mi smo profesionalno prskanje titana ciljano na proizvođače i dobavljače u Kini, specijalizirane za pružanje visokokvalitetnih prilagođenih usluga. Slobodno ovdje kupite mete za raspršivanje titanijuma s popustom i uzmite besplatan uzorak iz naše tvornice. Za konsultacije o cijeni, kontaktirajte nas.






