Pregled proizvoda
Planarne mete za raspršivanje titanijuma proizvode se od vakuumsko indukcijski otopljenih i termomehanički obrađenih titanijumskih ingota. Konstruisane za konfiguracije DC i RF magnetronskog raspršivanja, ove ravne mete obezbeđuju stabilno, ujednačeno taloženje tankog-filma na linijama za proizvodnju poluprovodnika, komorama za optički premaz i industrijskim PVD sistemima. Kontrolisane mikrostrukture osiguravaju konzistentne ciljane stope erozije, predvidljive prinose raspršivanja i minimalno stvaranje čestica tokom produženih-radova velike snage.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Raspon specifikacija |
|
Čistoća materijala |
99,9% (3N) do 99,999% (5N) |
|
Standardne dimenzije |
Pravokutni: do 3000 mm dužine; Kružna: Prečnik 50 mm do 450 mm |
|
Opseg debljine |
3 mm do 25 mm (prilagodljivo) |
|
Mikrostruktura |
Veličina finog zrna < 100 μm sa ujednačenom nasumičnom orijentacijom |
|
Gustina |
$\ge$ 4.50 g/cm³ (>99,5% teoretske gustine) |
|
Opcije lepljenja |
Nevezana (monolitna) ili legura indija / elastomera / Cu- vezana na OFHC bakarne ili aluminijumske pozadinske ploče |
Ključne karakteristike
Kontrolirana veličina zrna:Fine, ravnoosne distribucije zrna suzbijaju lokalizirano pitting i smanjuju formiranje ciljnih nodula tokom produženih ciklusa taloženja.
Niska međuprostorna nečistoća:Vakuumsko topljenje održava stroga ograničenja nivoa ppm- za kiseonik, azot, vodonik i ugljik kako bi se eliminisala kontaminacija filma.
Matrica visoke gustine:Potpuno guste strukture eliminišu unutrašnje mikropore, sprečavajući mikro-lukove tokom procesa-reaktivnog raspršivanja velike brzine.
Integritet termičkog interfejsa:Optimizovano vezivanje indija ili difuzije održava toplotnu provodljivost veću od 120 W/mK, sprečavajući raslojavanje termičkog naprezanja pod opterećenjima velike gustine snage.
Prijave
Poluprovodnici i mikroelektronika:Slojevi barijera, kontaktni slojevi i metalizacija interkonektora u proizvodnji integrisanih kola.
Optički premazi:Antireflektivni (AR) slojevi, dielektrični filteri i slojevi prozirnog provodljivog oksida (TCO) za preciznu optiku.
Ravni ekrani:Vodljive elektrode i puferski slojevi za OLED i LCD proizvodne linije.
Arhitektonsko i automobilsko staklo:Premazi za arhitektonsko zastakljivanje sa solarnom kontrolom i niskom{0}}emisivnošću (Low-E).
Habajući i dekorativni tvrdi premazi:Funkcionalni premazi titanijum nitrida (TiN) i titan karbonitrida (TiCN) za rezne alate, industrijski hardver i automobilske komponente.
Prilagodba i proizvodnja
Topljenje i termomehanička obrada:Vakuumsko lučno pretapanje (VAR) upareno sa više-osinim vrućim kovanjem i ukrštenim-putevima za valjanje kako bi se eliminisala usmjerena mehanička anizotropija.
Precizna obrada:CNC operacije glodanja i površinskog brušenja postižu tolerancije ravnosti unutar +/- 0.1 mm i hrapavost površine do Ra < 0,4 um.
Prilagođene geometrije:Izrada rukuje pravokutnim, kružnim, podijeljenim-segmentima, stepenastim-spojevima i prilagođenim konturama mapiranim direktno na vlasničke crteže katode.
Inženjering pozadinske ploče:Prilagođeni dizajn i izrada OFHC bakarnih ili aluminijumskih pozadinskih ploča sa preciznim-usmjerenim kanalima za rashladnu vodu i o-zaptivnim žljebovima za prstenove.
Kontrola kvaliteta i sertifikati
Analitička verifikacija:Masena spektrometrija usijanog pražnjenja (GDMS) ili ICP-OES certificira čistoću u rasutom stanju i prati nivoe metalnih/intersticijalnih nečistoća.
Metalurška inspekcija:Optička mikroskopija i difrakcija povratnog raspršivanja elektrona (EBSD) potvrđuju ujednačenost veličine zrna i kristalografsku orijentaciju.
Ne-testiranje bez razaranja (NDT):Ultrazvučno C{0}} skeniranje potvrđuje 100% integritet spajanja, garantujući nula nepovezanih džepova prečnika preko 3 mm.
Sljedivost i usklađenost sa propisima:Proizvedeno prema ISO 9001 sertifikovanom sistemu upravljanja kvalitetom. Svaka proizvodna serija se isporučuje sa detaljnim sertifikatom o analizi (CoA) vezan za određeni toplotni broj ingota, zajedno sa potpuno verifikovanim RoHS, REACH i predlošcima za izveštavanje o konfliktnim mineralima (CMRT).
Pakovanje i dostava
Zaštitno vakuumsko brtvljenje:Pojedinačno upakovane u anti-statičke polietilenske vrećice i vakuumski-zapečaćene u azotnim- okruženjima kako bi se spriječila oksidacija tokom transporta.
Zaštita od udara:Osiguran umetcima od polietilenske suspenzije visoke gustine-unutar drvenih sanduka za izvoz{1}}kako bi se spriječilo lomljenje rubova, savijanje ili oštećenje površine.
Globalna logistika:Koordinirana međunarodna zračna i oceanska otprema tereta potkrijepljena kompletnom dokumentacijom o carinjenju.
FAQ
P: Koje je standardno vrijeme isporuke za prilagođene planarne mete od titanijuma?
O: Standardne kataloške dimenzije se isporučuju u roku od 2 do 3 sedmice. Prilagođene konfiguracije koje zahtijevaju namjenske prolaze za valjanje, složenu mašinsku obradu ili specijaliziranu izradu podložne ploče obično zahtijevaju 4 do 6 sedmica.
P: Kako se testira i provjerava integritet povezivanja prije slanja?
O: Svaka vezana meta se podvrgava 100% ultrazvučnom C-skeniranju bez-nedestruktivnog testiranja. Mapa inspekcije mora potvrditi da nulta nepovezana međufazna površina prelazi stroge unutrašnje pragove, osiguravajući termičku stabilnost pod operativnim opterećenjima.
P: Koji nivo čistoće treba navesti za optičke u odnosu na poluprovodničke aplikacije?
O: Optički tank{0}}linije za premazivanje premaza uglavnom efikasno rade sa čistoćom od 99,9% (3N) do 99,95% (3,5N). Napredni poluprovodnički i mikroelektronski procesi zahtevaju stepen čistoće od 99,995% (4N5) ili 99,999% (5N) kako bi se sprečila kontaminacija teškim metalima i alkalijama u osetljivim slojevima uređaja.
P: Da li se za korporativne revizije dostavljaju potpuni regulatorni i ekološki dokumenti?
O: Da. Sveobuhvatna dokumentacija, uključujući RoHS deklaracije, REACH SVHC izjave i CMRT izvještaje o sukobu-minerala, je standardna i dostavlja se na zahtjev ili uz papirologiju isporuke.
P: Koji primarni faktori uzrokuju mikro-lukove tokom raspršivanja i kako ih proizvodnja sprječava?
O: Mikro{0}}izbočenje je obično uzrokovano lokaliziranim anomalijama gustine, plinskim mikro-porama ili stranim površinskim inkluzijama. Kontrolirano vakuumsko topljenje, više-termomehaničko kovanje i rigorozno ultrazvučno ispitivanje eliminiraju unutrašnje defekte kako bi se osiguralo stabilno-generiranje plazme bez luka.
P: Koji digitalni formati datoteka su prihvaćeni za prilagođene inženjerske crteže?
O: CAD crteži u STEP, IGES, DXF ili PDF formatima sa detaljima o kritičnim dimenzijama, tolerancijama, električnim kontaktnim tačkama i konfiguracijama kanala za hlađenje su prihvaćeni za neposredan inženjerski pregled.
Zatražite ponudu
Pošaljite svoje tehničke specifikacije ili inženjerske crteže da biste dobili zvaničnu komercijalnu ponudu, certificirane izvještaje o ispitivanju materijala (MTR), verifikaciju usklađenosti i provjerena vremena isporuke.
Potrebni RFQ parametri:Stepen čistoće materijala (npr. 99,995%), tačne dimenzije (dužina x širina x debljina), status pozadinske ploče (nevezana u odnosu na vrstu materijala) i procijenjeni godišnji ili serijski obim nabavke.
Kontakt za direktno inženjering i prodaju:[Umetnuti e-mail/vezu obrasca za podnošenje RFQ]
Popularni tagovi: planarne mete za raspršivanje titana, Kina planarne mete za raspršivanje titana proizvođači, dobavljači, tvornica